Beschreibung der Methode
Die EDX Spektroskopie (Energiedispersive Röntgenspektroskopie, englisch energy dispersive X-ray spectroscopy) ist ein Verfahren der Oberflächenanalytik, bei dem ein fokussierter Elektronenstrahl eine Probe abtastet und charakteristische Röntgenstrahlen der angeregten Atome auslöst — diese werden durch einen Detektor als Spektrum erfasst. Die Methode erlaubt sowohl qualitative als auch quantitative Aussagen über die chemische Elementzusammensetzung sowie deren lokale Verteilung, etwa punktuell, entlang einer Linie oder flächenhaft.
Anwendungsbeispiele
- Untersuchung von Rückständen, Verunreinigungen oder Ablagerungen auf Probenoberflächen
- Messung der Schichtdicke dünner Beschichtungen und zur Qualitätskontrolle genutzt
Ansprechpartner
Univ.-Prof. Dr. Oliver I. Strube
Inst. für Chemieingenieurswissenschaften
Innrain 80 – 82, 6020 Innsbruck
+43 (512) 507 55300
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