Beschreibung der Methode
Bei der Diffraktometrie mit streifendem Einfall (Grazing Incidence X-Ray Diffraction, GI-XRD) wird ein Röntgenstrahl in einem sehr geringen Einfallswinkel, typischerweise weniger als einem Grad, auf eine Probe gerichtet, wodurch die Röntgenstrahlen nur mit den obersten wenigen Nanometern des Materials in Wechselwirkung treten. Dies führt zu einem Beugungsmuster, das sehr empfindlich auf die kristallographischen Eigenschaften des Oberflächenbereichs reagiert.
Anwendungsbeispiele
- Phasenidentifizierung und Quantifizierung von polykristallinen Materialien verwendet
- Restspannungsmessungen in dünnen Schichten und Oberflächen
- GI-XRD eignet sich für alle polykristallinen Materialien, bei denen der Schwerpunkt auf den Oberflächenschichten liegt. Es ist auch für dünne Schichten nützlich, wenn die Streuung vom Substrat die relativ schwache Streuung von einer dünnen Schicht möglicherweise verdecken oder dominieren kann.