Beschreibung der Methode
Entwicklung selektiver chemischer Ionisationsverfahren für die Spurenanalytik von Gasen und verdampfbaren Flüssigkeiten im sub-ppbv Bereich.
Anwendungsbeispiele
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Detektion und Quantifizierung von geringsten Verunreinigungen in Echtzeit während der Produktion.
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Bornachweis bei der Herstellung von hochreinem Silizium (Patent angemeldet).